Mikroelektronika opravlja široko paleto funkcij, ena od pomembnih meritev, ki jo opravi, pa so vibracije. Senzorji vibracij merijo tako imenovano oscilatorno gibanje, gibanje, ki se nenehno premika naprej in nazaj. Smer je mogoče navesti s pomočjo koordinatnega sistema z osmi, izmeriti pa je mogoče tudi silo glede na gravitacijo. Analiza vibracij se izvaja z merjenjem premika in hitrosti ter pospeška, kar se v prvi vrsti analizira s senzorji za spremljanje vibracij. Različne vrste vključujejo piezoelektrične, integralne elektronike, piezoelektrične, piezorezistivne, spremenljivo kapacitivnost in servo senzorje.
Senzorje vibracij običajno imenujemo merilniki pospeška. Piezoelektrični merilniki pospeška delujejo na energijo sil, ki delujejo nanje, zato v sistemu ni potrebe po dodatnih virih energije. Za generiranje meritev se uporablja premik elektronskih nabojev na obeh straneh senzorja. Običajni tipi tega senzorja vključujejo strižno zasnovo, ki je izdelana za obvladovanje velikih temperaturnih razlik, in zasnovo tipa žarka, ki je pogosto prednostna, ker je običajno na voljo po nizki ceni.
Piezoelektrični senzorji z integrirano elektroniko vključujejo lastne majhne ojačevalnike, zato poseben kabel ni potreben kot pri piezoelektričnem izdelku. Vhodni in izhodni signali potekajo skozi en sam kabel, ki je povezan s senzorjem, celotna zasnova pa je zaščitena pred električnim hrupom. Ta naprava lahko vključuje tudi elektronske filtre, električno zaščito pred preobremenitvijo in različne dodatne funkcije.
Piezorezitivni senzor je konfiguriran v eno- ali večkraki zasnovi za izdelavo bolj zapletenega izhoda. Napajajo ga zunanji viri energije, kar omogoča uporabo izhodnega signala za spremljanje stabilnih pogojev vibracij, namesto da bi se spreminjala smer ali sila. Za pogoje visokega pospeška senzorji vibracij s spremenljivo kapacitivnostjo pogosto vključujejo silikonske rezine z vmesnimi vrzeli za vzdržljivost. Prenašajo lahko pospeške, ki so do 1,000-krat večji od določenega delovnega območja.
Za razliko od drugih senzorjev, ki se zanašajo na premik kristalov ali drugih elementov v konfiguraciji z odprto zanko, servo ali ravnotežje sile, merilnik pospeška uporablja zasnovo z zaprto zanko. Senzorji vibracij na servo pogon imajo večjo natančnost in se lahko uporabljajo v inercialnih sistemih vodenja. Druge pogoste oblike senzorjev za analizo vibracij vključujejo senzorje bližine. Ti se pogosto nahajajo v strojih za spremljanje gibanja notranjih komponent z merjenjem njihove električne prevodnosti. Medtem ko so ti brezkontaktni, se drugi senzorji vibracij zanašajo na stik za natančno merjenje gibanja ali razdalje.