Kaj je tarča za brizganje?

Tarča za brizganje je material, ki se uporablja za ustvarjanje tankih filmov v tehniki, znani kot nanašanje s brizganjem ali nanašanje tankega filma. Med tem postopkom brizgalni ciljni material, ki se začne kot trdna snov, plinasti ioni razbijejo na drobne delce, ki tvorijo razpršilo in prevlečejo drug material, ki je znan kot substrat. Razprševanje je običajno vključeno v ustvarjanje polprevodnikov in računalniških čipov. Posledično je večina tarčnih materialov za brizganje kovinskih elementov ali zlitin, čeprav je na voljo nekaj keramičnih tarč, ki ustvarjajo utrjene tanke prevleke za različna orodja.

Glede na naravo ustvarjenega tankega filma so lahko tarče za brizganje zelo velike in oblike. Najmanjše tarče imajo lahko premer manj kot en palec (2.5 cm), medtem ko največje pravokotne tarče segajo precej več kot en jard (0.9 m) v dolžino. Nekatera oprema za brizganje bo zahtevala večjo tarčo za brizganje in v teh primerih bodo proizvajalci ustvarili segmentirane tarče, ki so povezane s posebnimi spoji.

Zasnove sistemov za brizganje, strojev, ki izvajajo postopek nanašanja tankega filma, so postali veliko bolj raznoliki in specifični. V skladu s tem se je tudi oblika in struktura tarče začela širiti v raznolikosti. Oblika tarče za brizganje je običajno pravokotna ali krožna, vendar lahko številni dobavitelji tarč na zahtevo ustvarijo dodatne posebne oblike. Nekateri sistemi za brizganje zahtevajo vrtljivo tarčo, da zagotovijo natančnejši, celo tanek film. Te tarče so oblikovane kot dolgi valji in ponujajo dodatne prednosti, vključno s hitrejšo hitrostjo nanašanja, manjšo toplotno škodo in večjo površino, kar vodi do večje splošne uporabnosti.

Učinkovitost brizganja ciljnih materialov je odvisna od več dejavnikov, vključno z njihovo sestavo in vrsto ionov, ki se uporabljajo za njihovo razgradnjo. Tanki filmi, ki zahtevajo čiste kovine za ciljni material, imajo običajno večjo strukturno celovitost, če je tarča čim bolj čista. Ioni, ki se uporabljajo za bombardiranje tarče brizganja, so prav tako pomembni za izdelavo tankega filma dostojne kakovosti. Na splošno je argon primarni plin, izbran za ionizacijo in sprožitev postopka brizganja, vendar je za tarče, ki imajo lažje ali težje molekule, učinkovitejši drugačen žlahtni plin, kot je neon za lažje molekule ali kripton za težje molekule. Pomembno je, da je atomska teža plinskih ionov podobna kot pri brizgajočih ciljnih molekulah, da se optimizira prenos energije in zagona, s čimer se optimizira enakomernost tankega filma.