Tankoplastni postopek lahko vključuje številne različne kemične ali fizikalne postopke. Najpogostejše tehnike obdelave tankega filma so uporaba tekočih ali plinastih kemikalij, metode izhlapevanja ali postopek brizganja. Kombinacije teh tehnik so pogoste tudi pri tankoslojnem postopku, ki omogoča večji nadzor nad lastnostmi končnega izdelka. Tankoplastni proces je lahko fizične ali kemične narave.
Kemikalije, bodisi v tekoči ali plinasti obliki, se lahko uporabijo za ustvarjanje tankega filma. Kemično nanašanje hlapov, na primer, izpostavi material kemikaliji, ki se razgradi ali reagira na material. Med tem procesom pogosto nastajajo nevarni ali hlapni stranski produkti, zato morajo biti laboratoriji opremljeni za odstranjevanje nastalih kemikalij. Segrevanje substrata lahko poveča rast tankega filma med nanašanjem kemičnih hlapov.
Izhlapevanje je še en pogost postopek tankega filma. Pri izhlapevanju se ciljni material segreva, dokler ne izhlapi ali sublimira. Ko je snov plin, se sprosti v komoro, ki vsebuje substrat, na katerem se tvori tanek film. Snov udari v substrat in tvori tanek film.
Obstaja več različnih strojev, ki se lahko uporabljajo za izhlapevanje ciljnih materialov. Ti stroji lahko segrejejo ciljni material na ogreti tuljavi, plošči ali v ogrevani komori. Snovi lahko izhlapijo tudi, če jih zadene žarek visokointenzivnih elektronov ali fotonov, kot so tisti, ki jih oddaja laser.
Postopek brizganja, imenovan tudi razprševanje ali reaktivno magnetronsko razprševanje, je pogosto uporabljen tankoplastni postopek. Med tem postopkom se substrat postavi v vakuumsko komoro v specializiranem stroju. Zrak se odsesa iz komore, ciljni material pa se sprosti v komoro v obliki plina. Močni magneti ustvarijo naboj, ki povzroči, da se ciljni material ionizira in odloži na substrat. Premikanje substrata naprej in nazaj med tem postopkom zagotavlja, da je tanek film enakomerno razporejen po površini.
S tankoplastnim postopkom nastanejo tanki filmi različnih elementov ali molekul, ki so debeli med nekaj in nekaj sto atomi. Tanki filmi imajo veliko uporab in so pogosti sestavni deli v računalnikih, optičnih napravah in kot barvni filtri za kamere in teleskope. Tanke folije so običajno izdelane iz titana, aluminija, zlata, srebra in zlitin teh kovin. Običajni substrati vključujejo kovine, plastiko, steklo in keramiko.