Reaktivno ionsko jedkanje je vrsta tehnologije, ki se uporablja v mikroproizvodnji za odstranjevanje snovi iz rezin. Rezine so majhni polprevodniški trakovi, ki se uporabljajo pri izdelavi mikronaprav, tehnologija reaktivnega ionskega jedkanja pa zagotavlja, da ostanejo brez materialov, ki bi lahko negativno vplivali na njihovo učinkovitost. Postopki mikrofabrikacije se izvajajo s posebej zasnovanimi napravami, ki natančno določijo snov, ki jo je treba odstraniti, ne da bi pri tem žrtvovali celovitost rezine.
Najpogostejša naprava za reaktivno ionsko jedkanje je izdelana iz vakuumskega predelka v obliki cilindra z izoliranim držalom za rezino, pritrjenim na spodnji del komore. Na vrhu posode so majhne luknje, ki prepuščajo plin. Uporabljajo se različne vrste plinov, odvisno od posameznih zahtev posamezne rezine.
Induktivno sklopljena plazma je še en način te tehnologije. S to napravo plazmo izdela visoko specializirano magnetno polje. Ni nenavadno, da s to metodo dosežete visoke koncentracije v plazmi.
Reaktivna ionska jedkana plazma je kemično reaktivno stanje snovi, ki ga ustvari bolj standardno radiofrekvenčno (RF) elektromagnetno polje. Ioni v plazmi imajo nenavadno visoko količino energije. Ti ioni reagirajo na naplavine na rezini in delujejo, da odstranijo napake na njeni površini.
Kemični proces, vključen v reaktivno ionsko jedkanje, je večplasten. Najprej se močno elektromagnetno polje pošlje v komoro za rezine. Polje nato niha, kar ionizira molekule plina v posodi in odstrani njihove elektrone. Posledica tega je nastanek plazme.
Reaktivno ionsko jedkanje je ena vrsta širše kategorije odstranjevanja mikrofabrikacije, imenovane suho jedkanje. V postopku odstranjevanja ne uporablja tekočin, za razliko od mokrega jedkanja, ki uporablja različne kisline in kemikalije za dosego istega cilja. Ker mokro jedkanje povzroča nelojalno rezanje rezine, pa tudi znatne količine strupenih odpadkov, postaja suho jedkanje bolj priljubljena metoda kemičnega odstranjevanja rezin.
Ena od glavnih pomanjkljivosti reaktivnega ionskega jedkanja je cena. V primerjavi s tehnikami mokrega jedkanja je veliko dražje zaradi potrebne specializirane opreme. Vendar pa so postopki suhega jedkanja na splošno veliko bolj učinkoviti pri doseganju zahtevnejših področij rezine. Pomembno pa si je zapomniti, da nekatera dela ne zahtevajo najmanjših podrobnosti, ki jih zagotavlja ta oblika jedkanja, in postopki mokrega jedkanja lahko nalogo opravijo enako učinkovito.