V procesu ICP-MS spektrometrije se uporablja razpršilna komora. Razpršilne komore se uporabljajo na določeni točki v procesu, kjer se razvije fin razpršilec in nato shrani v komoro, kjer se nato zmeša argon. Bistvena odgovornost razpršilnih komor je zagotoviti, da le majhne in ozke kapljice tvorijo vse do plazme. Večina vzorčenega materiala se izprazni iz komore, preostanek pa se vnese v plazmo, kjer se vzbudi zaradi visokih temperatur.
Razpršilne komore se najpogosteje uporabljajo med postopkom ICP-MS. ICP-MS pomeni masni spektrometer z induktivno sklopljeno plazmo. ICP-MS je zelo občutljiv, časovno učinkovit sistem, ki se uporablja za merjenje električne koncentracije različnih raztopin. S pomočjo ICP-MS je mogoče določiti kar 75 posameznih elementov, tudi če ima element v rešitvi le en del na milijardo.
V postopku ICP-MS je veliko korakov, ki znanstvenikom omogočajo analizo elementov. Začetni korak v procesu je pretvorba molekul v vzorčni snovi v posamezne atome in ione. To se naredi tako, da se vzorec izpostavi visokotemperaturni radiofrekvenčni argonski plazmi. Črpalka prenaša vzorec v nebulator in ga pretvori v fino razpršilo.
Fino razpršilo se nato zadrži v razpršilni komori, kjer se zmeša z argonovo plazmo. V komori se večina vzorca odvaja, preostanek pa se prenaša med postopkom. Preostanek vzorca, pomešan z argonovo plazmo, nato izpostavimo visoki toploti in ioniziramo za analizo spektra delcev.
Za analizo vzorcev se uporablja veliko različnih ICP-MS naprav. Zato obstajajo tudi različne vrste razpršilnih komor. Nekatere od različnih vrst, ki so na voljo, so Althea, Tehtnica, Electron in Poistron.
Althea se uporablja za visoko prepustnost pri velikem vnosu. Tehtnica je ciklonska razpršilna komora, ki se uporablja za malo topil. Electron je mini ciklonska razpršilna komora za nizko porabo in hiter pretok. Poistron je mini ciklonska razpršilna komora, ki se uporablja za nizek vnos in minimalno obremenitev s topili.