Plazemsko razprševanje je tehnika, ki se uporablja za ustvarjanje tankih filmov različnih snovi. Med postopkom plazemskega brizganja se ciljni material v obliki plina sprosti v vakuumsko komoro in izpostavi magnetnemu polju visoke intenzivnosti. To polje ionizira atome tako, da jim da negativni električni naboj. Ko so delci ionizirani, pristanejo na materialu substrata in se poravnajo ter tvorijo dovolj tanek film, da meri med nekaj in nekaj sto delcev. Te tanke plasti se uporabljajo v številnih različnih industrijah, vključno z optiko, elektroniko in tehnologijo sončne energije.
Med postopkom plazemskega brizganja se list substrata postavi v vakuumsko komoro. Ta substrat je lahko sestavljen iz katerega koli od številnih različnih materialov, vključno s kovino, akrilom, steklom ali plastiko. Vrsta podlage se izbere glede na predvideno uporabo tankega filma.
Razprševanje s plazmo je treba opraviti v vakuumski komori. Prisotnost zraka med postopkom plazemskega brizganja bi onemogočala odlaganje filma samo ene vrste delcev na substrat, saj zrak vsebuje veliko različnih vrst delcev, vključno z dušikom, kisikom in ogljikom. Ko je substrat vstavljen v komoro, se zrak nenehno odsesava. Ko zrak v komori izgine, se ciljni material sprosti v komoro v obliki plina.
Samo delce, ki so stabilni v plinasti obliki, je mogoče z uporabo plazemskega brizganja spremeniti v tanek film. S tem postopkom se običajno ustvarijo tanki filmi, sestavljeni iz enega samega kovinskega elementa, kot so aluminij, srebro, krom, zlato, platina ali njihova zlitina. Čeprav obstaja veliko drugih vrst tankih filmov, je postopek brizganja s plazmo najbolj primeren za te vrste delcev. Ko delci vstopijo v vakuumsko komoro, jih je treba ionizirati, preden se usedejo na material substrata.
Zmogljivi magneti se uporabljajo za ioniziranje ciljnega materiala, ki ga spremeni v plazmo. Ko se delci tarčnega materiala približujejo magnetnemu polju, poberejo dodatne elektrone, ki jim dajo negativen naboj. Ciljni material v obliki plazme nato pade na substrat. S premikanjem plošče substrata lahko stroj ujame delce plazme in jih poravna. Oblikovanje tankih filmov lahko traja do nekaj dni, odvisno od želene debeline filma in vrste ciljnega materiala.