Piezorezitivni senzor je naprava, ki uporablja spremembe v upornosti določenih polprevodniških materialov, ko so izpostavljeni mehanski obremenitvi, da povzroči elektronsko delovanje. Ta piezorezitivni pojav temelji na nagnjenosti teh materialov k spremembam svojih latentnih uporovnih lastnosti, ko se upognejo zaradi izpostavljenosti pritisku ali stresu. To povzroči ustrezno spremembo katerega koli električnega toka, ki teče skozi napravo, kar se pretvori v meritev ali odčitavanje. Polprevodniški materiali, ki se običajno uporabljajo v piezoresistivnih napravah, so na splošno enake osnovne kovinske in silikonske družine, ki se uporabljajo v večini elektronskih komponent. Te komponente so na voljo s široko paleto značilnosti občutljivosti, ki ustrezajo zahtevam različnih industrij.
Ko so nekateri polprevodniški materiali izpostavljeni mehanski obremenitvi, se njihova upornost ali osnovna sposobnost, da se uprejo električnemu toku, spremenijo. Ta sprememba uporovnega značaja materialov očitno spremeni njegovo specifično vrednost odpornosti. To povzroči dvig ali padec katerega koli toka, ki poteka skozi napravo, ki se nato uporablja za prikaz ali merjenje vključene napetosti. Piezorezitivni učinek je izkoriščen za ustvarjanje vrste polprevodniških naprav, občutljivih na odklon, ki se uporabljajo za beleženje in merjenje sil, ki povzročajo stres, kot sta pospešek in tlak.
Ta vrsta senzorja je običajno izdelana iz polprevodniških substratov, kot so germanij, polikristalni silikon, amorfni silikon in monokristalni silikon. Tipičen senzor je sestavljen iz polprevodniške membrane, občutljive na pritisk, na katero je pritrjenih več n+ in p+ kontaktov. Električni tok teče skozi rezino s hitrostjo, odvisno od njene upornosti. Ta prenos toka in posledično odčitavanje se razlikuje glede na spremembe upora v komponenti, ko je membrana izpostavljena tlaku. Ti senzorji segajo po zahtevnosti od preprostih piezouporov z omejenim dosegom in temperaturno stabilnostjo do zelo stabilnih in natančnih piezo-FET.
Piezorezitivni senzor se uporablja v najrazličnejših aplikacijah, ki vključujejo merjenje mehanske napetosti. Avtomobilska industrija jih uporablja kot senzorje vakuuma in tlaka ali za prikaz ravni nafte in plina. Uporabljajo se tudi na medicinskem področju v napravah, kot je oprema za merjenje krvnega tlaka. Merilniki globine, ki jih uporabljajo globokomorski potapljači, uporabljajo tudi tehnologijo piezorezitivnih senzorjev za natančne odčitke globine. Te naprave se uporabljajo tudi v letalskih višinomerih in instrumentih za barometrični tlak.
Tlačno odvisni senzorji te vrste se pogosto uporabljajo tudi v elektronskih merilnih instrumentih, ki uporabljajo vezja in komponente, kot so Wheatstonov most in bipolarni tranzistorji. Merilniki pospeška, ki se uporabljajo za merjenje pozicijske orientacije, pospeška in vibracijskih sil, uporabljajo tudi tehnologijo piezorezitivnih senzorjev za ustvarjanje svojih odčitkov. Ta tehnologija se je našla tudi v domačem okolju, saj jih številni proizvajalci pomivalnih strojev, sesalnikov in pralnih strojev uporabljajo v svojih izdelkih.