Nanolitografija je izraz, ki se uporablja za opis številnih tehnik za ustvarjanje neverjetno majhnih struktur. Zadevne velikosti so na desetine nanometrov (nm). Nanometer je milijarda metra, veliko manjša od širine enega samega človeškega lasu. Beseda litografija se uporablja, ker je metoda generiranja vzorcev v bistvu enaka pisanju, le v precej manjšem obsegu.
Ena pogosta metoda nanolitografije, ki se uporablja zlasti pri ustvarjanju mikročipov, je znana kot fotolitografija. Ta tehnika je vzporedna metoda nanolitografije, pri kateri se v enem trenutku nariše celotna površina. Fotolitografija je omejena na velikost, na katero se lahko zmanjša, ker če je uporabljena valovna dolžina svetlobe premajhna, leča preprosto absorbira svetlobo v celoti. To pomeni, da fotolitografija ne more doseči super finih velikosti nekaterih alternativnih tehnologij.
Tehnologija, ki omogoča manjše velikosti kot fotolitografija, je litografija z elektronskimi žarki. Z uporabo elektronskega žarka za risanje vzorca nanometer za nanometrom je mogoče doseči neverjetno majhne velikosti (približno 20 nm). Litografija z elektronskim žarkom je veliko dražja in zamudna kot fotolitografija, zaradi česar je težko prodajati za industrijske aplikacije nanolitografije. Ker litografija z elektronskim žarkom deluje bolj kot matrični tiskalnik kot bliskavica, bo delo, ki bi z uporabo fotolitografije trajalo pet minut, pri litografiji z elektronskim žarkom trajalo več kot pet ur.
Nove tehnologije nanolitografije se nenehno raziskujejo in razvijajo, kar vodi v vse manjše možne velikosti. Ekstremna ultravijolična litografija je na primer sposobna uporabiti svetlobo pri valovnih dolžinah 13.5 nm. Čeprav na tem novem področju še vedno obstajajo ovire, obljublja možnost velikosti, ki so precej nižje od tistih, ki jih proizvajajo trenutni industrijski standardi. Druge tehnike nanolitografije vključujejo nanolitografijo s peresom, pri kateri se majhna konica uporablja za odlaganje molekul na površino. Dip-pen nanolitografija lahko doseže zelo majhne velikosti, vendar trenutno ne more biti pod 40 nm.
Financiranje raziskav nanolitografije prihaja iz številnih krajev, vključno z zasebnim akademskim svetom, futurističnimi podjetji, ki gledajo na nanotehnologijo naslednje generacije, in uveljavljenimi proizvajalci računalniških čipov, ki želijo svoje čipe skrčiti daleč pod njihovo trenutno velikost. Ker zanimanje za nanotehnologijo raste v industrijskih sektorjih, se bodo financiranje in raziskave na področju nanolitografije nedvomno razširile, kar bo vodilo do bolj spretnih tehnologij in še nižjih omejitev velikosti.