Aktuatorji običajno uporabljajo vir energije za premikanje ali nadzor mehanskih komponent. Pogosto jih najdemo v motorjih in različnih strojih. Številne vrste mehanskih naprav so bile z leti miniaturizirane, vendar ta proces običajno zahteva, da so tudi posamezne komponente veliko manjše. Miniaturizacija v 21. stoletju je napredovala do te mere, da so mikroaktuatorji in drugi deli tako majhni, da je za njihovo opazovanje pogosto treba uporabiti zmogljive mikroskope. Industrijski procesi, kot sta litografija in mikro obdelava, se uporabljajo za izdelavo mikroaktuatorja, prav tako pa je mogoče izdelati različne vrste.
Elektrostatični mikroaktuator je ena pogosta sorta, vendar lahko znanstveniki izdelajo tudi elektromagnetne sorte, ki lahko proizvedejo več energije za napajanje naprave, kot je motor. Včasih jih je težko izdelati, vendar so izdelani z metodami, ki se običajno uporabljajo za izdelavo integriranih vezij. Izdelani so bili motorji s premerom približno 0.04 palca (1 milimeter), ki so jih raziskovalci pogosto uporabljali za vstavljanje drobnih katetrov v biološke celice.
Obstaja tudi piezoelektrični mikroaktuator s kompozitnimi materiali, ki reagirajo podobno kot kristali, ki ob pritisku ustvarijo električno napetost. Na silicij lahko nanesemo tanke filme, ki lahko povzročijo gibanje na zelo kratkih razdaljah. Včasih so jih uporabljali v mikro miniaturnih rotorjih. Ultrazvočni mikroaktuatorji se pogosto uporabljajo v majhnih motorjih, vgrajenih v piezoelektrične naprave. Te je mogoče na primer integrirati v mehanizme samodejnega ostrenja majhnih kamer.
Gibljive mehanske komponente je mogoče zgraditi v majhnem obsegu, vendar je elektrostatični mikroaktuator običajno izdelan iz materiala, ki se upogne na podlagi električnih nabojev. Gibanje je na splošno mikroskopskega obsega in nastane majhna količina sile. Na podlagi tega načela so bili razviti nekateri rotacijski motorji in glavniki z linearnim gibanjem.
Mikroaktuatorji se lahko uporabljajo za izdelavo majhnih ogledal za zaslone in projektorje. Mikroskopski tokovni releji in majhni mehanizmi za nadzor trdih diskov pogosto uporabljajo takšne miniaturne naprave. Pogosto jih imenujemo mikro-elektromehanski sistemi (MEMS), kategorija, ki vključuje številne vrste miniaturnih gibljivih delov.
Proizvodnja mikroaktuatorjev se lahko izvede z jedkanjem delov v silikon. Litografija se pogosto uporablja za izdelavo vezij. Svetloba, kemikalije in plast, sestavljena iz delov, ki jih je treba dodati, so običajno združeni v tem procesu. Končni izdelek se običajno proizvaja v plasteh, medtem ko mikro obdelava pogosto vključuje laserje in skenirne elektronske mikroskope, na primer za postavitev posameznih atomov in celic. Oba procesa se lahko uporabljata za premikanje delov mikroaktuatorja in izdelavo mikro-miniaturne naprave.