Masni spektrometer z induktivno sklopljeno plazmo (ICP-MS) se uporablja za določanje koncentracije določenih elementov v vzorcih kamnin in tal za geološke študije. Zmožnost identifikacije vsebine vzorcev je koristna pri raziskovanju mineralov. Hibrid masnega spektrometra z induktivno sklopljeno plazmo je uporaben pri zagotavljanju izotopske starosti mineralov za radiometrično datiranje. Ta tehnologija je bila prvič uporabljena v šestdesetih letih prejšnjega stoletja kot metoda za gojenje kristalov. Izboljšano je bilo za uporabo kot analitično orodje za okoljske namene.
Masni spektrometri z induktivno sklopljeno plazmo delujejo hitro in so zelo primerni za analizo velikih količin usedlin in vzorcev tal. Raztopino usedline ali kamnine damo v plazmo, koncentracijo vzorca pa določimo glede na oddano svetlobo. Oprema lahko prepozna več kot 40 elementov. Argon je eden od elementov, ki ga masni spektrometer ne more identificirati.
Oprema ICP-MS ima tri cevi, ki so običajno izdelane iz silicijevega dioksida in tvorijo del opreme. Del gorilnika opreme je v tuljavi, ki je ohlajena z vodo, znotraj radiofrekvenčnega generatorja. Ko plini tečejo skozi gorilnik, se aktivira radiofrekvenčno polje. Plin v tuljavi nato postane prevoden.
Masni spektrometer z induktivno sklopljeno plazmo nato izmeri svetlobo, ki jo oddajajo ioni v vzorcu. Svetloba se pretvori v električne signale, intenzivnost nastalih signalov pa se primerja z znanimi intenzitetami. Ujemanje rezultatov z znanimi informacijami je tisto, kar identificira element. Elementi imajo lahko veliko valovnih dolžin, zaradi česar je izkušnja kritičen dejavnik pri izvajanju analize.
V geokronologiji se uporablja večkolektorsko induktivno sklopljeni masni spektrometer plazme (MC-ICPMS). Geokronologija uporablja merjenje radioaktivnega razpada za določitev starosti vzorca. V tem sistemu se ioni proizvajajo z vnosom v plazmo, ki odstranjuje elektrone in pusti pozitivne ione. Ioni se pospešujejo in nato fokusirajo. Fokusirani žarek prehaja skozi filter, ki loči ione glede na njihovo maso.
Tako MC-ICPMS kot ICP-MS uporabljata sistem primerjave izmerjenih napetosti za pridobitev znanstvenih rezultatov. Masne spektrometre z induktivno sklopljeno plazmo lahko najdemo v laboratorijih, ki se ukvarjajo z vzorčenjem tal in vode. Uporabne so pri študijah geokemije in kemijske ekologije. Zaznavajo lahko žveplo, fosfor in bor, zato se zelo dobro obnesejo pri testiranju čiščenja v sistemih za distribucijo vode.