Kaj je DC Sputtering?

Razprševanje z enosmernim tokom (enosmerni tok) je postopek nanašanja materiala, ki se uporablja za premazovanje struktur substrata s tankimi filmi različnih materialov. Postopek vključuje bombardiranje donatorskega materiala z ioniziranimi molekulami plina, kar povzroči premik donorskih atomov. Ti atomi se nato oprimejo negativno nabitega prejemnega materiala, ki na njegovi površini ustvari tanek film. Ta tehnika se obsežno uporablja v elektronski industriji za izdelavo polprevodniških komponent in tiskanih vezij (PCB). Lahko pa je primeren za številne druge aplikacije, kot so neodsevni premazi na steklenih optičnih elementih, metalizirana embalažna plastika in premazi z dvojno zasteklitvijo.

Nanos zelo tankih plasti ali filmov materiala na občutljive površine se običajno doseže s postopkom brizganja. Ta vrsta odlaganja materiala se doseže s prehajanjem visokonapetostnega električnega toka skozi inerten nizkotlačni plin, kot je argon, ki obdaja material darovalca in prejemnika. Ustvarjena visokoenergetska plazma povzroči, da hitro pospešeni ioni udarijo v donorski material in izpodrinejo njegove atome. Donorski atomi nato udarijo in se oprimejo ciljnega ali prejemnega materiala na atomski ravni in ustvarijo zelo tanek, enakomeren film. DC brizganje je sposobno izjemno natančnega in nadzorovanega nanašanja materiala na najrazličnejše površine substrata.

Plin, ki se uporablja v procesu, se vzdržuje pri zelo nizkih tlakih, običajno v območju deset tisočink zunanjega atmosferskega tlaka. Visokonapetostna negativna enosmerna napetost se nato prek magnetrona nanese na material prejemnika. Ta negativni naboj privlači donorske atome, ki jih izpodriva plinska plazma. Tehnika nima negativnih učinkov na prejemnika ali filmske materiale in je idealna za uporabo v polprevodniški industriji. Zelo natančna tanka prevleka, ki jo omogoča DC brizganje, omogoča zelo natančne filme, potrebne za izdelavo PCB in komponent.

Postopek se uporablja tudi pri proizvodnji številnih drugih premazanih izdelkov. S to tehniko se nanesejo neodsevni premazi na optiki za daljnoglede in teleskope, tako kot tisti, ki se uporabljajo pri dvojnih okenskih steklih. Plastične mase, kot so tiste, ki se uporabljajo za pakiranje čipsa in prigrizkov, so s to metodo prevlečene tudi s kovinskim filmom. Druge pogoste uporabe brizganja so trdi nitridni premazi na orodjih in kovinski premazi na CD in DVD ploščah. Računalniški trdi diski in sončne celice so tudi prevlečeni z različnimi kovinskimi filmi z uporabo enosmernega razprševanja.