Kaj je DC Magnetron Sputtering?

Magnetronsko razprševanje z enosmernim tokom je ena od več vrst brizganja, ki je metoda fizičnega nanašanja tankih filmov enega materiala na drugega materiala s paro. Najpogostejše metode nanašanja z brizganjem, ki se uporabljajo v letu 2011, so razprševanje z ionskimi žarki, brizganje diod in DC magnetronsko razprševanje. Razprševanje ima široko paleto znanstvenih in industrijskih uporab in je eden najhitreje rastočih proizvodnih procesov, ki se uporabljajo v sodobni proizvodnji.

Zelo preprosto, razprševanje se pojavi v vakuumski komori, kjer je snov bombardirana z ioniziranimi molekulami plina, ki izpodrivajo atome iz snovi. Ti atomi odletijo in zadenejo ciljni material, imenovan substrat, in se nanj vežejo na atomski ravni ter ustvarijo zelo tanek film. To nanašanje z razprševanjem poteka na atomski ravni, tako da imata film in substrat skoraj nezlomljivo vez, pri čemer se s postopkom proizvede film, ki je enakomeren, izjemno tanek in stroškovno učinkovit.

Magnetroni se uporabljajo v procesu brizganja za pomoč pri nadzoru poti premaknjenih atomov, ki naključno letijo okoli vakuumske komore. Komora je napolnjena z nizkotlačnim plinom, pogosto argonom, za tarčo materiala prevleke pa je nameščenih več visokonapetostnih magnetronskih katod. Visoka napetost teče iz magnetronov čez plin in ustvarja visokoenergijsko plazmo, ki udari v cilj materiala prevleke. Sila, ki jo povzročajo ti udarci plazemskih ionov, povzroči, da se atomi izločijo iz materiala prevleke in se povežejo s substratom.

Atomi, ki se izločijo v procesu brizganja, običajno letijo skozi komoro v naključnih vzorcih. Magnetroni proizvajajo visokoenergetska magnetna polja, ki jih je mogoče postaviti in manipulirati, da zbirajo in zadržujejo ustvarjeno plazmo okoli substrata. To prisili izvržene atome, da potujejo po predvidljivih poteh do substrata. Z nadzorovanjem poti atomov je mogoče predvideti in nadzorovati tudi hitrost in debelino filma.

Uporaba DC magnetronskega razprševanja omogoča inženirjem in znanstvenikom, da izračunajo čas in procese, ki so potrebni za proizvodnjo posebnih kakovosti filma. Temu pravimo procesni nadzor in industriji omogoča uporabo te tehnologije v množičnih proizvodnih operacijah. Na primer, brizganje se uporablja za ustvarjanje premazov za optične leče, ki se uporabljajo v predmetih, kot so daljnogledi, teleskopi ter oprema za infrardečo in nočno opazovanje. Računalniška industrija uporablja CD-je in DVD-je, ki so bili izdelani s postopkom brizganja, polprevodniška industrija pa uporablja brizganje za premazovanje številnih vrst čipov in rezin.

Sodobna visoko učinkovita izolirana okna uporabljajo steklo, ki je bilo premazano z brizganjem, s tem postopkom pa se izdela veliko strojne opreme, igrač in okrasnih predmetov. Druge industrije, ki uporabljajo brizganje, vključujejo vesoljsko, obrambno in avtomobilsko industrijo, medicinsko, energetsko, svetlobno in steklarsko industrijo ter številne druge. Kljub že tako široki uporabi industrija še naprej išče nove uporabe za DC magnetronsko razprševanje.