Augerjeva elektronska spektroskopija (AES) se pogosto uporablja za določanje kemične sestave tanke, mikroskopske plasti površine. Delci, imenovani elektroni, so običajno usmerjeni v material, kar sproži Augerjev učinek, pri katerem se odstrani elektron iz notranje lupine atoma, na njegovo mesto pride delec višje ravni in odda se drug elektron. Testiranje se izvaja v ultra visokem vakuumu in se običajno izvede z elektronsko pištolo, analizatorjem, detektorjem in snemalnikom podatkov. Informacije se običajno analizirajo grafično; narava vrhov običajno pomaga ugotoviti, katere spojine so prisotne v vzorcu.
Pogosto se uporabljajo žarki elektronov, čeprav se namesto tega včasih sproščajo rentgenski žarki. Vrsta materiala, ki se testira, določa, kateri se uporablja; oksidi, na primer, se lahko razgradijo, če so izpostavljeni visokim nivojem elektronov. Snovi je mogoče identificirati, ker je energija Augerjevega elektrona običajno edinstvena za element. Pri Augerjevi elektronski spektroskopiji delci, ki uidejo, na splošno niso tako energični kot drugi. Na splošno morajo biti zelo blizu površine, da lahko pobegnejo, in vsi plini, ki so prisotni med AES, lahko preprečijo, da bi delci dosegli detektor.
Elektronska pištola, ki se uporablja v Augerjevi elektronski spektroskopiji, je običajno sestavljena iz vira za delce in leče, ki fokusira žarek. Leča je lahko elektrostatična ali elektromagnetna; kateri bo uporabljen, je odvisno od zahtevane ločljivosti. Analizator energije elektronov, ki je del tehnike Augerjeve elektronske spektroskopije, lahko razvrsti oddane delce po njihovih energijskih nivojih. Analizator je lahko oblikovan kot cilindrično ogledalo ali dve hemisferični koncentrični lupini.
Eno- ali večkanalni detektorji se pogosto uporabljajo za Augerjevo elektronsko spektroskopijo. Podatki se nato analizirajo z nizi vrhov na grafu. Skeniranje običajno traja nekaj minut, medtem ko meritve z visoko ločljivostjo lahko trajajo do 25 minut. Pregled ankete običajno ugotovi, kateri elementi so prisotni, medtem ko lahko drugo skeniranje pove, kako koncentrirani so določeni atomi. Če se žarek skenira po vzorcu, se lahko izdela zemljevid izmerjene površine.
Znanost Augerjeve elektronske spektroskopije se pogosto uporablja v številnih fizikalnih in kemijskih aplikacijah. Poleg identifikacije elementov na površinah se lahko uporablja tudi za odkrivanje oksidacije in korozije. Temperaturni odziv in povezano utrujenost je mogoče analizirati z uporabo AES. Tehnika se lahko uporablja tudi za pregledovanje kontaminantov v integriranih vezjih, vendar je omejitev postopka, da se površina testiranega materiala pogosto poškoduje.